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針對硅光技術(shù)研發(fā)中材料和工藝的多樣性,平臺開發(fā)了基于厚硅 SOI、 石英襯底、SiN 材料的多種工藝模塊,可為客戶提供靈活的定制化技術(shù)服 務(wù)。
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針對硅光技術(shù)研發(fā)中材料和工藝的多樣性,平臺開發(fā)了基于厚硅
SOI
、 石英襯底、
SiN
材料的多種工藝模塊,可為客戶提供靈活的定制化技術(shù)服 務(wù)。