針對(duì)硅光技術(shù)研發(fā)中材料和工藝的多樣性,平臺(tái)開發(fā)了基于厚硅 SOI、 石英襯底、SiN 材料的多種工藝模塊,可為客戶提供靈活的定制化技術(shù)服 務(wù)。