面向后摩爾時(shí)代微電子與光電子的發(fā)展需求,中國科學(xué)院微電子所基于 8 英寸 CMOS 工藝線開發(fā)國內(nèi)首個(gè)具有完整硅光工藝流片能力的 8 英寸硅光 平臺。
面向后摩爾時(shí)代微電子與光電子的發(fā)展需求,中國科學(xué)院微電子所基于8 英寸 CMOS 工藝線開發(fā)國內(nèi)首個(gè)具有完整硅光工藝流片能力的 8 英寸硅光平臺。
▲IMECAS 硅光平臺組成
