平臺配置了商用級 8/12 英寸硅光晶圓測試系統(tǒng),該解決方案基于成 熟可靠的 12 寸探針臺和納米級精密定位組件,搭建起高效且兼容性高的 光電混合測試系統(tǒng)。平臺還配置了一套納米級光電芯片耦合測試系統(tǒng),針 對不同的耦合方式為客戶提供不同的測試解決方案。同時建立了全程可追 溯的測試數(shù)據(jù)庫,持續(xù)向客戶推出各類靈活、可靠、可升級的產品和服務。

▲IMECAS 硅光平臺全自動耦合晶圓級測試平臺+芯片級測試平臺