2021-10-15
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中科院微電子所硅光平臺已成功開發(fā)了一系列硅光流片工藝模塊、標(biāo)準(zhǔn)工藝流程和PDK。其中,標(biāo)準(zhǔn)單元庫主要包括矩形波導(dǎo)、脊形波導(dǎo)、MMI、Y-分支、光交叉器、AWG、光柵耦合器等無源器件,有源器件實(shí)現(xiàn)了40Gbps的鍺探測器和調(diào)制器,如圖1和表1所示。自2017年5月發(fā)布以來,該平臺已完成多批次MPW和客戶定制流片服務(wù),器件性能達(dá)到國際代工平臺水平,得到了業(yè)內(nèi)人士的一致認(rèn)可。